Аннотация дисциплины «Микросистемная техника»
Краткое описание
В содержании дисциплины нашли отражение история возникновения, основные этапы развития и области применения микросистемной техники. Описываются специфические особенности технологии микросистем, а также взаимосвязь данной технологии с другими наукоемкими технологиями. Подробно освещается устройство и принцип работы микроэлектромеханических систем. Анализируются конструктивные особенности основных типов современных микроэлектромеханических датчиков и актюаторов. Особое внимание уделяется рассмотрению физических основ микросистемной техники и технологии. Основные темы
Микросистемная техника (основные понятия и термины, назначение, исторический аспект). Основные физические процессы и явления определяющие устройство и принцип действия изделий микросистемной техники. Электрофизические и конструкционные свойства материалов микросистемной техники. Механика микросистем. Основы микроэлектроники. Аппаратура и технологическое оснащение. Перспективы развития технологии. Основы нанотехнологий.