Определяются особенности современных твердотельных устройств микро- и наноэлектроники и их функциональные свойства. Рассматриваются основные типы технологий и методы создания современных твердотельных устройств микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется технологиям и методам создания наногетероструктур электроники и оптроники.
Современные твердотельные устройства микро- и наноэлектроники и их функциональные свойства. Планарная технология. Технологии получения наноструктур и современные тенденции их развития. Технологии и методы получения полупроводниковых наногетероструктур электроники и оптроники.